Температур, чийгшлийн автомат хяналт
Цэвэр өрөөний температур, чийгшлийг голчлон процессын шаардлагын дагуу тодорхойлдог боловч процессын шаардлагыг хангасан тохиолдолд хүний тав тухыг анхаарч үзэх хэрэгтэй.Агаарын цэвэр байдлын шаардлага нэмэгдэхийн хэрээр процесс нь температур, чийгшилд илүү хатуу шаардлага тавих хандлагатай байна.
Боловсруулалтын нарийвчлал улам бүр нарийн болж, температурын хэлбэлзлийн хязгаарт тавигдах шаардлага улам бүр багасч байна.Жишээлбэл, том хэмжээний нэгдсэн хэлхээний үйлдвэрлэлийн литографийн өртөлтийн процесст диафрагмын материал болох шил ба цахиурын хавтангийн дулааны тэлэлтийн коэффициентийн зөрүү бага, бага байх шаардлагатай.100μm диаметртэй цахиур хавтан нь температур 1 градусаар нэмэгдэхэд 0.24μm шугаман тэлэлтийг бий болгоно.Тиймээс ±0.1 градусын тогтмол температуртай байх ёстой.Үүний зэрэгцээ чийгшлийн утга нь ерөнхийдөө бага байхыг шаарддаг, учир нь хүн хөлрсний дараа бүтээгдэхүүн бохирдох болно, ялангуяа Натриас айдаг хагас дамжуулагч цехийн хувьд энэ төрлийн цэвэр цех нь 25 хэмээс хэтрэхгүй байх ёстой.
Хэт их чийгшил нь илүү их асуудал үүсгэдэг.Харьцангуй чийгшил 55% -иас хэтрэх үед хөргөлтийн усны хоолойн хананд конденсац үүсэх болно.Хэрэв энэ нь нарийн төхөөрөмж эсвэл хэлхээнд тохиолдвол янз бүрийн осол гарах болно.Харьцангуй чийгшил 50% байхад амархан зэвэрдэг.Түүнчлэн чийгшил хэт өндөр байвал цахиурын хавтан дээрх тоос нь агаар дахь усны молекулуудын нөлөөгөөр химийн аргаар гадаргуу руу шингэж, арилгахад хүндрэлтэй байдаг.Харьцангуй чийгшил өндөр байх тусам наалдацыг арилгахад хэцүү байдаг ч харьцангуй чийгшил 30% -иас бага үед цахилгаан статик хүч, олон тооны хагас дамжуулагчийн нөлөөгөөр тоосонцор нь гадаргуу дээр амархан шингэдэг. төхөөрөмжүүд эвдрэх хандлагатай байдаг.Цахиур хавтан үйлдвэрлэх хамгийн сайн температурын хязгаар нь 35-45% байна.
